SEM og EPMA

I vanlige lysmikroskoper er den maksimale forstørrelse begrenset av bølgelengden til synlig lys og kan ikke bli større enn ca. 2000 ganger. I elektronmikroskopet benyttes en stråle av elektroner med mye kortere bølgelengde og oppløsningen ligger for de beste instrumentene på noen få nanometer. På elektronmikroskopene er det vanlig å ha påkoplet forskjellige elektrondetektorer for avbilding av de undersøkte objektene og røntgendetektorer for kjemisk analyse.
Elektronmikroskopet ved NGU er en Leo 1450 VP med wolfram-emitter. Instrumentet kan opereres med variabelt trykk i kammeret, noe som muliggjør billeddannelse og semikvantitativ analyse uten omfattende prøvepreparering. Instrumentet er montert med et røntgenanalysesystem fra Oxford Instruments, så det er mulig å foreta røntgen mikroanalyse (EPMA – electron probe micro analysis). Mest effektive er de såkalte ”Point and ID” semi-kvantitative analysene, men det er mulig å oppnå kvantitative resultater med høy kvalitet. Det er i tillegg montert en detektor for katodeluminesens.